ГОСТ ИСО 14644-1-2002: Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха

Терминология ГОСТ ИСО 14644-1-2002: Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха оригинал документа:

2.3.2 M-дескриптор (M-descriptor): Концентрация макрочастиц в 1 м³ воздуха, выраженная через эквивалентный диаметр, который характеризует используемый метод контроля.

Примечание - M -дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, по которому оценивается чистое помещение или чистая зона). M -дескрипторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.

Определения термина из разных документов: M-дескриптор (M-descriptor)

2.3.1 U-дескриптор (U-descriptor): Концентрация частиц в 1 м³ воздуха, включая ультрамелкие частицы.

Примечание - U -дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, по которому оценивается чистое помещение или чистая зона). U -дескрипторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.

Определения термина из разных документов: U-дескриптор (U-descriptor)

2.2.7 волокно ( fibre): Частица вытянутой формы, длина которой превышает ширину в 10 или более раз.

Определения термина из разных документов: волокно ( fibre)

2.5.1 заказчик ( customer): Организация или ее представитель, ответственный за точное определение требований к чистому помещению или чистой зоне.

Определения термина из разных документов: заказчик ( customer)

2.5.2 исполнитель ( supplier): Организация, выполняющая установленные требования к чистому помещению или чистой зоне.

Определения термина из разных документов: исполнитель ( supplier)

2.1.4 класс чистоты ( classification): Уровень чистоты по взвешенным в воздухе частицам, применимый к чистому помещению или чистой зоне, выраженный в терминах «Класс N ИСО», который определяет максимально допустимые концентрации (частиц/м³) для заданных диапазонов размеров частиц.

Примечания

1 Концентрация определяется по уравнению (1) в 3.2.

2 В соответствии с настоящим стандартом классы чистоты ограничены пределами от класса 1 ИСО до класса 9 ИСО.

3 Пороговые значения размеров частиц (нижние пороговые значения), применяемые для классификации по настоящему стандарту, находятся в диапазоне 0,1-5,0 мкм. Для пороговых размеров частиц, находящихся вне этого диапазона, чистота воздуха может быть определена (но не классифицирована) при помощи U- или М-дескрипторов (2.3.1 или 2.3.2)*.

* Пороговый размер частиц ограничивает снизу диапазон размеров частиц, по которым определяется класс чистоты воздуха.

4 Промежуточные классификационные числа ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением 0,1, т.е. ряд промежуточных классов ИСО расширяется от класса 1,1 ИСО до класса 8,9 ИСО.

5 Класс чистоты может быть определен для любого из трех состояний чистых помещений (2.4).

Определения термина из разных документов: класс чистоты ( classification)

2.2.3 концентрация частиц ( particle concentration): Число отдельных частиц в единице объема воздуха.

Определения термина из разных документов: концентрация частиц ( particle concentration)

2.2.6 макрочастица ( macroparticle): Частица с эквивалентным диаметром более 5,0 мкм.

Определения термина из разных документов: макрочастица ( macroparticle)

2.4.2 оснащенное ( at-rest): Состояние, в котором чистое помещение укомплектовано оборудованием и действует по соглашению между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.

Определения термина из разных документов: оснащенное ( at-rest)

2.4.1 построение ( as-built): Состояние, в котором монтаж чистого помещения завершен, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует производственное оборудование, материалы и персонал.

Определения термина из разных документов: построение ( as-built)

2.2.2 размер частиц ( particle size): Диаметр сферы, которая в контролирующем приборе дает отклик, равный отклику от оцениваемой частицы.

Примечание - Для дискретных счетчиков частиц, работающих на принципе рассеяния света, используется эквивалентный оптический диаметр.

Определения термина из разных документов: размер частиц ( particle size)

2.2.4 распределение частиц по размерам ( particle size distribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров.

Определения термина из разных документов: распределение частиц по размерам ( particle size distribution)

2.1.3 система чистого помещения ( installation): Чистое помещение, или одна или несколько чистых зон со всеми относящимися к ним структурами, системами подготовки воздуха, обслуживания и утилизации.

Определения термина из разных документов: система чистого помещения ( installation)

2.2.5 ультрамелкая частица ( ultrafine particle): Частица с эквивалентным диаметром менее 0,1 мкм.

Определения термина из разных документов: ультрамелкая частица ( ultrafine particle)

2.2.1 частица ( particle): Твердый или жидкий объект, который в целях классификации чистоты воздуха характеризуется совокупным распределением, основанным на пороговом размере (нижнем пределе) в диапазоне 0,1-5,0 мкм.

Определения термина из разных документов: частица ( particle)

2.1.2 чистая зона ( clean zone): Пространство, в котором контролируется концентрация взвешенных в воздухе частиц, построенное и используемое так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри зоны, и позволяющее, по мере необходимости, контролировать другие параметры, например, температуру, влажность и давление.

Примечание - Чистая зона может быть открытой или замкнутой и находиться как внутри, так и вне чистого помещения.

Определения термина из разных документов: чистая зона ( clean zone)

2.1.1 чистое помещение ( cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация взвешенных в воздухе частиц, построенное и используемое так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и позволяющее, по мере необходимости, контролировать другие параметры, например, температуру, влажность и давление.

Определения термина из разных документов: чистое помещение ( cleanroom)

2.4.3 эксплуатируемое ( operational): Состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом, с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией.

Определения термина из разных документов: эксплуатируемое ( operational)